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课程建设与改革是提高本科教学质量与人才培养的的关键,CDIO是目前高等工程教育的一种新型教育模式,本文结合CDIO人才培养理念,针对微电子工艺课程的特点,从课程建设思想、教学内容与方法、创新能力培养,多方位构建教学与实践平台、多元化的过程考核方式等方面的具体改革措施,探索了微电子工艺课程建设和教学改革,且这些改革措施的应用已初见成效。