多功能等离子体源离子注入工业样机的研制

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等离子体源离子注入(PSII)是一种新的注入技术,该技术与其它相关技术的结合又扩大了其应用。介绍国内首次研制成功的多功能PSII工业样机的结构、性能,参数以及材料改性的初步结果。
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