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调Q脉冲CO2激光切割Si3N4工程陶瓷的机理研究
调Q脉冲CO2激光切割Si3N4工程陶瓷的机理研究
来源 :机械工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:applexiao
【摘 要】
:
采用调Q脉冲CO2激光器对Si3N4工程陶瓷进行了切割试验.在计及切口烧蚀前沿形状和高斯光束空间能量分布的前提下,采用简化的二维模型,针对气化切割过程,在能量平衡基础上,建立
【作 者】
:
洪 蕾
李力钧
鞠春雷
【机 构】
:
清华大学材料科学与工程博士后流动站,湖南大学
【出 处】
:
机械工程学报
【发表日期】
:
2002年6期
【关键词】
:
调Q脉冲
数学模型
二氧化碳激光器
激光切割
氮化硅
工程陶瓷
Si3N4 Q-switched pulse CO2 laser Cutting Mathema
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采用调Q脉冲CO2激光器对Si3N4工程陶瓷进行了切割试验.在计及切口烧蚀前沿形状和高斯光束空间能量分布的前提下,采用简化的二维模型,针对气化切割过程,在能量平衡基础上,建立了一个脉冲激光切割数学模型.试验结果表明,采用高速多次重复走刀工艺可实现无损伤激光切割.
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