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采用溶胶凝胶法制备一种具有光敏性的ZrO2薄膜，通过紫外分光光度计对薄膜曝光前后的结构变化进行分析。结果表明．该薄膜具有良好的光敏性。采用紫外曝光结合图形转移工艺，制备了具有多台阶结构的复杂微细图形。测量结果表明．该结构为周期性三台阶结构，周期为210μm，每个台阶的高度约为325nm。
多台阶光栅结构的溶胶凝胶法制备工艺
【摘 要】
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采用溶胶凝胶法制备一种具有光敏性的ZrO2薄膜，通过紫外分光光度计对薄膜曝光前后的结构变化进行分析。结果表明．该薄膜具有良好的光敏性。采用紫外曝光结合图形转移工艺，制备了
【机 构】
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同济大学上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室
【出 处】
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原子能科学技术
【发表日期】
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2008年9期
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