符合ISO/IEC 15693协议的专用RFID并行晶圆测试系统设计

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针对遵循ISO/IEC15693协议的RFID(radio frequency identification)晶圆测试效率低下的问题,提出了一种16通道并行测试系统的方法,选用FPGA(field programmable gate array)作为逻辑处理器,使用并行处理的方法高效地实现逻辑功能;设计专用硬件测试电路,成本低、针对性强;采用16通道并行测试方法,大幅度提高测试效率;采用射频耦合式测试方法,完全模拟芯片的实际工作状态,保证测试结果与实际应用结果一致。实际测试中,测试晶圆为8in(203mm
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