【摘 要】
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随着国际单位制向量子化转变,基于光学方法的真空计量技术成为该领域的研究热点,最具代表性的是基于Fabry-Perot光学干涉腔的真空计量方法。介绍了该方法的测量原理,并对以美
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金面上项目(62071209)
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随着国际单位制向量子化转变,基于光学方法的真空计量技术成为该领域的研究热点,最具代表性的是基于Fabry-Perot光学干涉腔的真空计量方法。介绍了该方法的测量原理,并对以美国NIST、瑞典Umeå和日本AIST等为代表的计量机构的研究进展进行了简要概述。介绍了本课题组研制的1台基于Fabry-Perot光学腔的真空计量装置的结构组成,给出了干涉腔精细度、温度稳定性和激光频率稳定性测试结果,表明,基于Fabry-Perot光学干涉腔的真空计量方法具有高灵敏度和可靠性,可有效促进我国真空计量技术向
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