双弯曲型压电振子的振动解析

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对双弯曲型直线与旋转超声波马达振子的振动状态进行了解析计算,与有限元法计算的结果作了比较,从理论上说明了将拨齿与基板分割计算进行设计是合理的。给出了铰支结构压电振子直线马达的试验结果。
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