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透射式GaAs光电阴极AlGaAs窗层和GaAs光电发射层界面应变状况的X射线衍射研究
透射式GaAs光电阴极AlGaAs窗层和GaAs光电发射层界面应变状况的X射线衍射研究
来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Q672855312
【摘 要】
:
本文介绍了应变和弛豫的概念以及倒易点在倒易空间的分布,阐明了GaAs光电阴极AlGaAs窗层和GaAs光电发射层界面应变状况的X射线衍射的分析方法,最后给出了实例.
【作 者】
:
李晓峰
张景文
高鸿楷
侯洵
【机 构】
:
中国科学院西安光学精密机械研究所光电子学研究室
【出 处】
:
光子学报
【发表日期】
:
2002年3期
【关键词】
:
GAAS/ALGAAS
GaAs光电发射层
X射线衍射
驰豫
光电阴极
AlGaAs窗层
应变
砷化镓
铝镓砷化合物
GaAs
AlGaAs
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本文介绍了应变和弛豫的概念以及倒易点在倒易空间的分布,阐明了GaAs光电阴极AlGaAs窗层和GaAs光电发射层界面应变状况的X射线衍射的分析方法,最后给出了实例.
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