Compressive Sensing Approaches for Lithographic Source and Mask Joint Optimization

来源 :微电子制造学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fawudai111111

【摘要】

：

Source and mask joint optimization(SMO)is a widely used computational lithography method for state-of-the-art optical lithography process to improve the yield o

【作者】

：

Xu Ma Zhiqiang Wang Gonzalo R.

【机构】

：

KeyLaboratoryofPhotoelectronicImagingTechnologyandSystemofMinistryofEducationofChina,DepartmentofEle

【出处】

：

微电子制造学报

【发表日期】

：

2018年2期

【关键词】

：

Computational LITHOGRAPHY SOURCE MASK optimization(SMO) COMPRESSIVE sensing(CS)

【基金项目】

：

the National Natural Science Foundation of China(NSFC)(61675021),the Fundamental Research Funds for the Central Universities(2018CX01025).

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

Source and mask joint optimization(SMO)is a widely used computational lithography method for state-of-the-art optical lithography process to improve the yield of semiconductor wafers.Nowadays,computational efficiency has become one of the most challenging

其他文献

日本产WTB型溶液泵轴油封失效与修复

从国情出发，对进口化工耐蚀泵配件国产化中出现的泵轴油封失效原因进行了初步分析，并因地制宜地进行了局部结构改进，延长了使用寿命，节约了大量备件费用。

期刊

溶液泵泵轴油封故障修复化肥厂

橡胶防老剂高效MSP—44

期刊

橡胶防老剂MSP-44

国有企业改革实践中的问题及思考

期刊

体制改革国有企业中国

乙烯装置开车前化学清洗概述

主要阐述了乙烯装置开车前化学清洗的可行性和必要性，说明了清洗技术是确保乙烯装置安全、高效生产的因素之一。

期刊

乙烯装置化学清洗

我国应发展无氯钾肥

期刊

钾肥无氯钾肥

Development and Prospect of Process Models and Simulation Methods for Atomic Layer Deposition

Thin film deposition is one of the most important processes in IC manufacturing. In this paper, several typical models and numerical simulation methods for thin

期刊