非平衡磁控溅射沉积CrN用于液压杆件的研究

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目前液压杆件基本上采用电沉积的方法在基体表面沉积一层Cr膜,以此来满足其耐热、耐磨和抗腐蚀要求,但电沉积Cr不但浪费能源而且对环境和人体健康有着极大的伤害。本文利用非平衡磁控溅射的方法在45#钢表面获得6μm左右的Cr-CrN多层膜,通过对膜层进行物理性能测试、盐雾试验以及装车磨损寿命试验,结果表明利用非平衡磁控溅射方法在液压杆件基体上沉积CrN不仅可取代电沉积Cr,而且使用寿命大大提高。 At present, the hydraulic rod basically uses the electrodeposition method to deposit a Cr film on the surface of the substrate, so as to meet the requirements of heat resistance, wear resistance and corrosion resistance. However, the electrodeposition Cr is not only a waste of energy but also has a great impact on the environment and human health Big damage. In this paper, the non-equilibrium magnetron sputtering method was used to obtain a Cr-CrN multilayers of about 6μm on the surface of 45 # steel. Physical properties, salt spray test and wear life test of the coatings were carried out. Magnetron sputtering method in the hydraulic rod substrate CrN deposition can not only replace the electrodeposition of Cr, but also greatly enhance the service life.
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