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PI/CAB复合介质膜湿敏元件敏感特性研究
PI/CAB复合介质膜湿敏元件敏感特性研究
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xujuenrong
【摘 要】
:
本文提出一种新型电容式复合介质膜湿敏元件,它的介质膜是将线性输出、温度特性取向不同的两类感湿介质膜(PI,CAB)互补复合而成.对比试验表明,复合介质膜湿敏元件具有优异的线性
【作 者】
:
周明军
卢崇考
【机 构】
:
信息产业部电子第49研究所
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
PI/CAB
电容
复合介质膜
湿敏元件
敏感特性
bilayer dielectric film
humidity sensor
each other c
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本文提出一种新型电容式复合介质膜湿敏元件,它的介质膜是将线性输出、温度特性取向不同的两类感湿介质膜(PI,CAB)互补复合而成.对比试验表明,复合介质膜湿敏元件具有优异的线性输出,并对温度系数、重复性和长期稳定性也有明显改善.
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