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针对大面积、高产量和节约型印制电路板（PCB）生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其投影系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析。对于设计的激光投影系统,其特征尺寸分辨力达到了9μm,全视场波像差小于λ/4,畸变小于0.000007%,这些指标符合实际要求。
折叠式激光投影光刻物镜的设计研究
【摘 要】
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针对大面积、高产量和节约型印制电路板（PCB）生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其投影系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析。对于设计
【机 构】
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广东工业大学物理与光电工程学院
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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2007年9期
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