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几种掺杂浓度的GaAs表面Si-δ掺杂结构研究
几种掺杂浓度的GaAs表面Si-δ掺杂结构研究
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sylsq3
【摘 要】
:
本文利用了光调制光谱,原位测量了GaAs(001)表面Si-δ掺杂结构样品,研究了不同要浓度对Si-δ掺杂相关的光谱结构的影响,观察到了Si-δ掺杂结构中,价带连续态到导带半V-形势阱中子带的跃迁,观察到该跃迁
【作 者】
:
刘兴权
【机 构】
:
中国科学院上海技术物理所
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1998年3期
【关键词】
:
砷化镓
掺杂
PR
结构
Doping (additives)
Molecular beam epitaxy
Semiconducting gallium ar
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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本文利用了光调制光谱,原位测量了GaAs(001)表面Si-δ掺杂结构样品,研究了不同要浓度对Si-δ掺杂相关的光谱结构的影响,观察到了Si-δ掺杂结构中,价带连续态到导带半V-形势阱中子带的跃迁,观察到该跃迁相随掺杂浓度增加先向高能移动,而后达到饱和。
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