离化团束淀积光学薄膜实验装置的研制和性能实验

来源 :光学机械 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ericwu8756

【摘要】

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研制了离化团束淀积装置。目前的实验结果,使用离化团束淀积技术在玻璃冷基底上镀制的ZnS膜MgF_2膜的机械牢固性较电子束在同样条件下制备的ZnS膜和MgF_2膜较强。用反应性离

【作者】

：

林开华郑宣明

【出处】

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光学机械

【发表日期】

：

1991年4期

【关键词】

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离化团束淀积光学薄膜研制性能

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研制了离化团束淀积装置。目前的实验结果,使用离化团束淀积技术在玻璃冷基底上镀制的ZnS膜MgF_2膜的机械牢固性较电子束在同样条件下制备的ZnS膜和MgF_2膜较强。用反应性离化团束技术制备的ZnO膜具有优良的取向结构。通过控制参数可以控制ZnO膜的结晶结构。

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