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材料功能的多元化以及各种元器件的微型化、集成化,导致薄膜的应用领域也就越来越广泛,对薄膜的制备技术的要求就越来越高.本文综述了近来溶胶-凝胶法在光学、电学、耐磨、耐蚀等功能薄膜制备中的研究及展望.
溶胶-凝胶法制备功能薄膜材料的研究及展望
【摘 要】
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材料功能的多元化以及各种元器件的微型化、集成化,导致薄膜的应用领域也就越来越广泛,对薄膜的制备技术的要求就越来越高.本文综述了近来溶胶-凝胶法在光学、电学、耐磨、耐蚀等功能薄膜制备中的研究及展望.
【机 构】
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浙江大学(浙江杭州)
【出 处】
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第三届全国溶胶-凝胶科学技术学术会议
【发表日期】
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2004年11期
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