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原子层沉积技术（ALD）可制备出平滑、均匀可控的高质量薄膜,较传统制备方法而言,具有高度可控性和重现性,成为纳米二氧化钛（TiO2）薄膜制备的首要选择。从沉积温度、等离子体的增强作用、沉积载体、掺杂及应用等方面综述了ALD法制备纳米TiO2薄膜的相关研究进展。
原子层沉积制备纳米TiO2薄膜研究进展
【摘 要】
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原子层沉积技术（ALD）可制备出平滑、均匀可控的高质量薄膜,较传统制备方法而言,具有高度可控性和重现性,成为纳米二氧化钛（TiO2）薄膜制备的首要选择。从沉积温度、等离子体的增强
【机 构】
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西安近代化学研究所,
【出 处】
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化工新型材料
【发表日期】
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2016年09期
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