【摘 要】
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<正> 日本日立（HITACHI）公司生产的各种型号扫描电镜在我国的使用量不少,其真空控制电路基本相同,例如S520、S450等系列扫描电镜的真空阀门的驱动级均为一受控双稳态电路,通过
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<正> 日本日立（HITACHI）公司生产的各种型号扫描电镜在我国的使用量不少,其真空控制电路基本相同,例如S520、S450等系列扫描电镜的真空阀门的驱动级均为一受控双稳态电路,通过二级不同时间常数的延时电路,触发达林顿功率放大级,去推动电磁阀线圈。第一阀门一组电路,电路参数均相同。在此取S520扫描电镜的V1真空阀控制电路加以分析说明（见图1）。该公司电镜的电磁阀是直接带动真空系统的阀门,所以压差大,其推动力矩也就比一般电磁更多还原
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