【摘 要】
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以钛酸丁酯、氯化钐和乙醇为主要原料,采用溶胶-凝胶法制备出Sm3＋掺杂的TiO2薄膜.考察了薄膜煅烧温度、前驱体pH值、Sm3＋掺杂量对薄膜制备的影响,并采用X射线衍射仪、扫描电子
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以钛酸丁酯、氯化钐和乙醇为主要原料,采用溶胶-凝胶法制备出Sm3＋掺杂的TiO2薄膜.考察了薄膜煅烧温度、前驱体pH值、Sm3＋掺杂量对薄膜制备的影响,并采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜对所制备薄膜的物相组成,显微结构进行了表征.结果表明：煅烧温度为550℃可使薄膜充分晶化,前驱体pH=3.0时成膜性最好,Sm3＋掺杂改变了TiO2薄膜的晶格尺寸,且改善了薄膜表面气泡的大小和分布,Sm3＋的最佳掺杂量为0.5%mol.
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