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本文深入分析了现代复合分子泵结构特点及存在的主要问题。在结构设计理论中提出了保证涡轮筒式复合分子泵工作安全性和抽气特性的四种结构改进方法，对复合分子泵的国产化及应用推广具有重要意义。
新型复合分子泵结构设计理论的研究
【摘 要】
：
本文深入分析了现代复合分子泵结构特点及存在的主要问题。在结构设计理论中提出了保证涡轮筒式复合分子泵工作安全性和抽气特性的四种结构改进方法，对复合分子泵的国产化及应
【机 构】
：
东北工学院; 东北工学院; 中科院北京真空物理实验室; 中科院北京真空物理实验室 沈阳稀土技术发展公司 沈阳市 110003;
【出 处】
：
真空
【发表日期】
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1993年03期
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