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期刊论文
组合式金合金圆平面磁控靶的设计
组合式金合金圆平面磁控靶的设计
来源 :福州大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wqcfirst
【摘 要】
:
首先对传统的圆平面磁控靶的形状进行改进,设计一个靶材利用率高的纯金靶,利用金合金的色区图,计算沉积不同K值和颜色的镀金膜时,组合工K金靶上金、银、铜的面积比,从而在纯金靶上固
【作 者】
:
程树英
郑文汀
【机 构】
:
福州大学电子科学与应用物理系
【出 处】
:
福州大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1998年4期
【关键词】
:
磁控溅射
圆平面靶
组合式
沉积
金合金
magnetron sputtering
circular plane target
K-gold
deposi
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首先对传统的圆平面磁控靶的形状进行改进,设计一个靶材利用率高的纯金靶,利用金合金的色区图,计算沉积不同K值和颜色的镀金膜时,组合工K金靶上金、银、铜的面积比,从而在纯金靶上固定相应面积的扇形银片和铜片,研制出不同K值和色度的组合式金合金靶。
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