开管镓扩散系统的研究及在电力半导体器件中的应用

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jumglezhang
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探讨了一种新颖开管扩镓系统的基本原理和实施方法,用于各类晶闸管的制造,使器件具有触发参数一致性好,通态特性优良,dv/dt、di/dt耐量高等特点.实践证明,该系统是一项值得在电力半导体器件制造行业推广的新工艺 The basic principle and implementation method of a novel open-tube gallium nitride system are discussed. It is used in the manufacture of various types of thyristors. The device has the characteristics of good triggering parameter consistency, excellent on-state characteristics, high dv / dt and di / dt tolerance. Practice has proved that the system is a new technology worth promoting in the power semiconductor device manufacturing industry
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