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采用化学共沉淀法，以InCl3·5H2O和SnCl4·5H2O为原料，在掺杂浓度In2O3与SnO2的质量比为9：1的条件下，合成了平均粒径80nm的ITO粉体。利用TEM，XRD，DSC．TG，IR，ξ电位分析仪等实验方法对粉体的形貌、物相、结构等进行了表征。实验结果表明，当前驱体煅烧温度为600℃时，可以获得晶化良好的立方In2O3结构的In2O3和SnO2固溶体。根据ξ电位测定和TEM的观察结果，当反应的最终pH值为9时，粉体的分散性较好。