【摘 要】
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微机电系统（MEMS）是由微型的驱动器、执行机构、传感器等构成的微系统，具有体积小、能耗低、性能可靠等特点。近年来随着微电子技术、微测控技术、传感器技术和微系统设计方法论
【机 构】
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微机电系统（MEMS）是由微型的驱动器、执行机构、传感器等构成的微系统，具有体积小、能耗低、性能可靠等特点。近年来随着微电子技术、微测控技术、传感器技术和微系统设计方法论的发展，微机电系统开辟了更为广阔的应用领域。在微机电系统众多的应用中，最令人注目的应用是?
Micro-electromechanical systems (MEMS) are micro-systems consisting of miniature actuators, actuators, sensors, etc. They are characterized by small size, low energy consumption, and reliable performance. In recent years, with the development of microelectronics technology, micro-measurement and control technology, sensor technology and micro-system design methodology, MEMS has opened up wider applications. Among the many applications of MEMS, the most notable application is?
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