【摘 要】
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为了解决双波长测温不同波长的变换和精确定位测量的问题，设计了一种基于单片机的变换结构，利用电机匀速反馈控制电路和单片机周期捕获功能，准确跟踪和定位采样位置。基于这种结
【机 构】
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华中科技大学机械科学与工程学院,广东昭信半导体装备制造有限公司
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为了解决双波长测温不同波长的变换和精确定位测量的问题，设计了一种基于单片机的变换结构，利用电机匀速反馈控制电路和单片机周期捕获功能，准确跟踪和定位采样位置。基于这种结构提出了一种双波长测温法的暗电流电压修正方法，大大提高了测量的精度。通过实验使用设计的测量结构拟合出双波长温度测量函数，测量精度在1℃之内。
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