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我国自主开发的三氯氢硅优化新工艺达到国际先进水平。据悉，截至3月24日，优化后的三氯氢硅装置不仅实现了三个月的长周期稳定运行，转化率和产品纯度也再创新高，转化率相比去年提高了10％左右，产品纯度提高到99．99％，单炉产能也由同行业最大的5000t／a提高到12000t／a，扩大了两倍多。
三氯氢硅新工艺增产提质
【摘 要】
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我国自主开发的三氯氢硅优化新工艺达到国际先进水平。据悉，截至3月24日，优化后的三氯氢硅装置不仅实现了三个月的长周期稳定运行，转化率和产品纯度也再创新高，转化率相比去年提
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2012年2期
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