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<正>飞行时间二次离子质谱法(Time-of-flight secondary ion mass spectroscopy,简称ToF-SIMS)检测的基本原理是:通过带有几千电子伏特能量的一次离子束激发样品表面,经过物理作用在撞击区域产生碎片;这些碎片大部分是中性碎片,其他带正电荷和带负电荷的碎片离子被称为二次离子;根据二次离子因质量差异导致飞行到探测器的时间不同来测定离子,被收集并检测到的二次离子反映样品表面的信息。ToF-SIMS