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高纯气体供应系统的杂质污染及防治
高纯气体供应系统的杂质污染及防治
来源 :洁净与空调技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qyyqyy202
【摘 要】
:
<正> 高纯气体的杂质污染,对电子产品生产来说,主要是指各种产品所需高纯气体中的微量气态杂质,如一氧化碳、二氧化碳、碳氢化合物和各种工序不需要、且有害的气态杂质,微量
【作 者】
:
陈霖新
【出 处】
:
洁净与空调技术
【发表日期】
:
1995年4期
【关键词】
:
气体
高纯气体
供应系统
杂质污染
防治
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<正> 高纯气体的杂质污染,对电子产品生产来说,主要是指各种产品所需高纯气体中的微量气态杂质,如一氧化碳、二氧化碳、碳氢化合物和各种工序不需要、且有害的气态杂质,微量水份、微粒、金属离子等。
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