热红外敏感器、成像器件及其制作方法

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本专利提供用于探测入射红外通量的热红外敏感器。这些热红外敏感器均包含一个由一层吸收层和一个热敏感元件构成的吸收器。吸收层吸收入射红外通量后产生热量,产生的热量由诸如热敏电阻之类的热敏感元件探测。吸收器是利用支架和电桥支承在衬底上的,这样可以减少从吸收器到衬底的热传递。支架和电桥内含有连接吸收器和衬底的引线。将支架和电桥置于吸收器下 This patent provides thermal infrared sensors for detecting incident infrared flux. These thermal infrared sensors each contain an absorber consisting of an absorber layer and a heat-sensitive element. The absorber layer absorbs incident infrared flux and generates heat, which is detected by a heat-sensitive element such as a thermistor. The absorber is supported on the substrate with brackets and bridges so that heat transfer from the absorber to the substrate can be reduced. Brackets and bridges contain leads that connect the absorber to the substrate. Place brackets and bridges under the absorber
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