【摘 要】
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采用物理气相沉积(PVD)法制备TiN、Ti-Al-N和Ti-Si-N 3种薄膜,研究了铝和硅元素添加对薄膜组织和性能的影响。结果表明:Ti-Al-N薄膜组织中Ti3AlN相存在择优取向,形成了粗大的
【基金项目】
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长春市科技支撑计划项目(11K246)
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采用物理气相沉积(PVD)法制备TiN、Ti-Al-N和Ti-Si-N 3种薄膜,研究了铝和硅元素添加对薄膜组织和性能的影响。结果表明:Ti-Al-N薄膜组织中Ti3AlN相存在择优取向,形成了粗大的柱状晶;Ti-Si-N薄膜生成了Si_(3)N_(4)相,组织相对细小;Ti-Al-N薄膜的膜基结合力最小,Ti-Si-N薄膜的膜基结合力最大;Ti-Al-N薄膜的表面粗糙度最小,硬度和弹性模量最大;Ti-Si-N薄膜的摩擦因数略高于Ti-Al-N薄膜的,但二者相差很小,这应与Ti-Si-N薄膜组织较细小且形
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