采用错流过滤法研究了碳化硅陶瓷膜对稀磷酸+矿浆、磷酸一铵料浆和含油切削液三种工业废水的处理效果及工艺特性,分析了过滤时间和跨膜压差对碳化硅陶瓷膜膜通量的影响规律,研究了反冲洗次数对碳化硅陶瓷膜通量的恢复规律。实验结果表明:以孔径为0.5μm的碳化硅陶瓷膜,在跨膜压差为0.14 MPa,过滤时间为20 min的条件下过滤上述三种工业废水,滤液中悬浮物的含量分别为54 mg/L、49 mg/L、16 mg/L,均满足《污水综合排放标准》中的排放标准且膜通量随着过滤时间的延长逐渐下降,在16 min达到平衡;当跨膜压差为0.2 MPa时,碳化硅陶瓷膜对含油切削液的过滤效果最好,滤后水的含油量和悬浮物含量分别为0.78 mg/L和9.35 mg/L,满足排放要求。被污染后的陶瓷膜,利用气水混合反冲洗5次后,膜通量从250 L/(h·m~2)恢复至406 L/(h·m~2),恢复率达到97%以上。