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高子束溅射原位沉积制备YBa2Cu3O7—δ超导薄膜
高子束溅射原位沉积制备YBa2Cu3O7—δ超导薄膜
来源 :低温物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:UserReg
【摘 要】
:
利用离子束溅射技术在ZrO_2衬底上原位制备出YBa_2Cu_3O_(7-δ)高温超导薄膜。薄膜的零电阻温度T_(co)=88K,临界电流密度J_c(77K)=5.2×10~5A/cm~2用X射线衍射和扫描电镜
【作 者】
:
郝建华
李再光
【机 构】
:
华中理工大学光电子工程系,中国科学技术大学激光技术国家重点实验室武汉430074,武汉430074,武汉430074
【出 处】
:
低温物理学报
【发表日期】
:
1993年4期
【关键词】
:
超导膜
离子束
溅射
制备
YBCO
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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利用离子束溅射技术在ZrO_2衬底上原位制备出YBa_2Cu_3O_(7-δ)高温超导薄膜。薄膜的零电阻温度T_(co)=88K,临界电流密度J_c(77K)=5.2×10~5A/cm~2用X射线衍射和扫描电镜分析了薄膜特性。本文结果表明用离子束溅射法可原位沉积制备出高质量的超导薄膜。
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