直线超声波电动机在精密平台中应用的现状

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尖端工业生产领域需要精密平台为其提供技术支持.对各国的先进直线超声波电动机驱动的精密平台的原理、性能和应用作了初步介绍,并与上海大学研制的短、小、薄超声波电动机精密平台作对比.通过分析它们的特点,为我国的直线超声波电动机驱动控制精密平台的开发研究提供建议和参考.
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