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检验曝光台校正透镜的修正效果,通常是通过在生产线上实际制管来进行.这种方法费时费力,并且存在各制作工序误差的积累.本文研制了一种装置,通过检测透镜修正前后光落点在荧光屏内表面的落点位移,直接检测修正效果,并且测量精度能达到3～5 μm.
曝光台校正透镜修正效果的检测
【摘 要】
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检验曝光台校正透镜的修正效果,通常是通过在生产线上实际制管来进行.这种方法费时费力,并且存在各制作工序误差的积累.本文研制了一种装置,通过检测透镜修正前后光落点在荧
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2002年4期
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