【摘 要】
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It is shown that for a weak phase object the image formation process in a field-emission gun (FEG) electron microscope is the same as in a conventional transmi
【机 构】
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Beijing Laboratory of Electron Microscopy, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080, China,Beijin
【出 处】
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Progress in Natural Science
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It is shown that for a weak phase object the image formation process in a field-emission gun (FEG) electron microscope is the same as in a conventional transmission electron microscope, and that the spherical aberration coefficient of an FEG electron microscope may be measured by using an amorphous thin film. Methods were developed for accurate determination of the spherical aberration coefficient of an FEG electron microscope using digital electron micrographs.
It is shown that for a weak phase object the image formation process in a field-emission gun (FEG) electron microscope is the same as in a conventional transmission electron microscope, and that the spherical aberration coefficient of an FEG electron microscope may be measured by using an amorphous thin film. Methods were developed for accurate determination of the spherical aberration coefficient of an FEG electron microscope using digital electron micrographs.
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