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采用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面，利用正交实验法研究了不同腐蚀液配方中的HNO3、HF和缓和剂NaH2PO4·2H2O的含量对多晶硅太阳电池绒面的反射率和腐蚀速度的影响。结果表明：NaH2PO4·2H2O溶液对腐蚀速度有着显著的影响，其次为HF溶液和HNO。溶液；对于反射率来说，其影响因素的重要性主次顺序为HF溶液、HNO3溶液、NaH2PO4·2H2O缓和剂。在本实验条件下，最佳的酸腐蚀混合液配方为HF：HNO3：NaH2PO4·2H2O=9：1：7。在该工艺条件