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本文介绍了三电极保护法半绝缘砷化镓材料电阻率二维分布自动测量系统，在实际应用中，温度波动、异常数据对测量结果产生了严重影响，为此我们提出了一些措施，文中给 些样品测量结果的统计数据和等值图。并对这些结果进行讨论。
三电极法电阻率二维分布测量技术及其应用
【摘 要】
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本文介绍了三电极保护法半绝缘砷化镓材料电阻率二维分布自动测量系统，在实际应用中，温度波动、异常数据对测量结果产生了严重影响，为此我们提出了一些措施，文中给 些样品测量结
【机 构】
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电子部第四十六研究所
【出 处】
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现代仪器使用与维修
【发表日期】
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1998年2期
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