【摘 要】
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针对前后表面平行抛光的物质（如半导体芯片等），干涉测温是一种非常有效的非侵入性测量方法。本文中对常规干涉测温法进行改进，提出了一种新方法——弱相干法。该方法利用光源的弱
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针对前后表面平行抛光的物质（如半导体芯片等），干涉测温是一种非常有效的非侵入性测量方法。本文中对常规干涉测温法进行改进，提出了一种新方法——弱相干法。该方法利用光源的弱相干性抑制背景反射光，选择所需信号光进行干涉测量，从而提高测量精度。文中描述了弱相干法的基本原理及相应的实验
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