【摘 要】
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采用常温直流磁控溅射法在廉价201无镍不锈钢表面沉积了纯钛薄膜。通过SEM分析了201上钛膜的沉积厚度受沉积条件的影响,也探讨了工艺参数对薄膜沉积量的影响。应用动电位扫描
【机 构】
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攀枝花学院生物与化学工程学院,攀枝花学院
【基金项目】
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四川省科技支撑计划(2008GZ0188)
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采用常温直流磁控溅射法在廉价201无镍不锈钢表面沉积了纯钛薄膜。通过SEM分析了201上钛膜的沉积厚度受沉积条件的影响,也探讨了工艺参数对薄膜沉积量的影响。应用动电位扫描极化曲线测试评估钛膜的耐腐蚀性,据此采用均匀试验设计法优化了钛膜的溅射工艺参数。采用DPS数据处理系统对均匀试验数据进行二次多项式逐步回归分析,发现溅射功率对钛膜耐蚀性的影响可以表述为开口向上的抛物线关系,并获得了膜耐蚀性的优化工艺条件。进一步讨论了沉积膜厚对覆钛不锈钢耐腐蚀性的影响。
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