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采用多种技术对超细碳氮化钛进行组成分析。可分别测定吸附和化合状态的氧。晶格常数与(原子比)具有线性关系,表明碳与氮可以相互无限置换,分子式为Ti CxN1-x,每一样品只有一种C/N比.固溶体是均质的。气相合成的碳氮化钛含微量杂质,包括游离碳和氯根等,主相量显著地受吸附氧量影响,可控制达97%以上。介绍了拟定的分析方法。