基于短波长紫外激光的光学元件成形

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wushong
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1 前言rn在激光核聚变中需要大量使用大尺寸、高精度的光学元件.例如,直径达60~100 cm的反射镜,40~80 cm量级的聚焦透镜及激光窗片,对应于直径35 cm光束的激光玻璃等,均要求以λ/6以下的波前像差制作,供装置使用.这些光学元件几乎都采用研磨工艺制作,尤其是大尺寸光学元件,因为研磨工艺及波前的检查、校正都是花费时间并要求操作熟练的作业,需要长制作周期和高成本.此外,在激光核聚变中,当用多束激光照射靶丸时,需用光学元件消除每条光束的不均匀性.为此,就必须控制插入光学元件的透射或反射波前,以在靶丸上获得均匀的强度分布.可以想象以前的加工方法,在以任意高精度制作用于这样的激光束的相位控制元件上,存在着多么大的困难.rn
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