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全息干涉法测量表面粗糙度
全息干涉法测量表面粗糙度
来源 :计量技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tanshuyao
【摘 要】
:
本文以轴承滚道为例,介绍一种测量表面粗糙度的新方法——全息干涉测量法。该方法采用菲涅耳全息图透镜成象原理,优点是适用于任意曲面,且测量精度较高,应用此法还可检验加工
【作 者】
:
王兵
【机 构】
:
太原重型机械研究所
【出 处】
:
计量技术
【发表日期】
:
1989年6期
【关键词】
:
全息干涉法
测量
表面粗糙度
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本文以轴承滚道为例,介绍一种测量表面粗糙度的新方法——全息干涉测量法。该方法采用菲涅耳全息图透镜成象原理,优点是适用于任意曲面,且测量精度较高,应用此法还可检验加工工件的形状误差。
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