【摘 要】
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科技部和中国电子材料行业协会在洛阳中硅高科组织召开评审验收会。中硅高科承担的三氯氢硅合成及提纯工艺技术与关键装置研究、高效加压还原炉系统研究、大型低温加压四氯化
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科技部和中国电子材料行业协会在洛阳中硅高科组织召开评审验收会。中硅高科承担的三氯氢硅合成及提纯工艺技术与关键装置研究、高效加压还原炉系统研究、大型低温加压四氯化硅氢化技术与装置研究三个国家“十一五”科技支撑计划大型课题
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