【摘 要】
：
探讨了高性能ZnO薄膜的制备工艺,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和高阻仪对各种条件下制备的薄膜进行了表征分析.研究表明:在一定温度范围内随退火温度上升薄膜C轴取
【基金项目】
：
国家自然科学基金，天津市自然科学基金
论文部分内容阅读
探讨了高性能ZnO薄膜的制备工艺,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和高阻仪对各种条件下制备的薄膜进行了表征分析.研究表明:在一定温度范围内随退火温度上升薄膜C轴取向性更优;同时O空位的填充、自由Zn原子的氧化使得薄膜电阻率提高至107Ω·cm数量级;600℃为最佳退火处理温度,600℃退火处理的ZnO薄膜粗糙度小(RMS为2.486 nm),且晶粒均匀致密,表面平整,是适于制备声表面波(SAW)器件的高C轴取向、高电阻率及较平坦的ZnO薄膜.
其他文献
本发明涉及一种农用肥料及其生产方法，尤其是复合磷酸二氢钾溶液及其生产方法，其基本组成为含0．02％～0．03％(质量分数)的EDTA，0．12％-0．16％的FeSO4，0．07％-0．08％的ZnSO4，0．03％～0．04％的MgSO4，0．02％～0．03％的CuSO4
通过采用特殊压力管封装光纤Bragg光栅（FBG），分析了压力管结构封装FBG的压力响应特性。在0～40MPa压力范围，进行了加压和减压的高压实验。推导了传感器波长与压力间的关系，得到了压
为将Ｈｕｃｋｅｌ－Ｈｕｂｂａｒｄ（Ｈ－Ｈ）理论推广用于含杂原子π电子体系、无机分子以及原子团簇等体系的研究，本文建议一种Ｈ－Ｈ参数求值方案，并用双原子分子结合能计算来检验了所得参数的合理性。结果表明，用这套Ｈ－Ｈ参数
浙江省宁波市鄞江镇内部审计注重找准村级工作重点、难点问题，并针对审计发现的村级招待交际费、会务费开支较大问题向镇党委政府提出进一步明确标准、健全制度等审计建议，引起
瘦索（leptin），又名消脂索，是一种由肥胖基因编码的分泌型蛋白，在代谢平衡中主要通过作用于下丘脑特异性受体调节食物摄人和能量平衡。起初认为白色脂肪组织是瘦素的惟一来源，进一步
本文运用CNDO-CO方法计算了聚丙炔腈及其他聚乙炔取代衍生物不同构型的电子结构。对聚乙炔每个晶胞中的氢原子被氰基、氨基、氟、氯等基团取代后。取代基的空间位阻效应,吸、
采用脉冲CO2激光,对离体猪颞骨组织进行了消融实验研究.辐照用激光功率从1 W逐渐增大到22 W,重复频率为60 Hz,光斑直径为1.40 mm.样品辐照后,用读数显微镜和光学相干层析成像
报道了采用PECVD薄膜沉积技术制备的大电流、高开关比非晶硅薄膜二极管,在制备工艺温度低于200℃下,获得正向电流密度大于50 A/cm-2,±3 V偏压时开关比接近105的优质非晶
用快速流动—共振荧光法测得室温下OH与N_2O反应速率常数k_4=(1.59±0.10)×10~(-14)cm~3molecule~(-1)s~(-1),在273—363K温度范围内K_4不随温度变化。OH是由氢原子
研制了一种用于旋转轴线位置测量的高分辨率反射型强度调制(RI M)光纤传感器。在旋转部件端面刻划漫反射图谱,利用该图谱对反射光的强度调制,来获取旋转轴线位置偏移的大小和方向。该传感器制作工艺简单,分辨率可以达到0.1μm,灵敏度可以达到100.7mV/μm,在测量范围内具有良好的线性,而且通过调整传感器与反射面间的距离,可以实现对测量范围和灵敏度的调整。给出了旋转轴线位置偏移与反射光强度调制的关系