表面波等离子体沉积类金刚石膜结构的Raman光谱和XPS分析

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本文使用Raman光谱和X-射线光电子能谱(XPS)的分析方法对表面波等离子体沉积的类金刚石(DLC)薄膜的结构进行了研究.采用4峰的高斯解谱的方法对不同沉积时间的膜的Raman谱进行处理,并由此对膜中sp3键的百分含量PD进行了定量计算;同时还采用3峰的高斯解谱方法对不同沉积时间的膜的光电子能谱进行处理,也对膜中sp3键的百分含量进行了计算.两种方法均得到膜中sp3含量在20%~40%之间,且随沉积时间的增加而增加.
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