论文部分内容阅读
讲述了一种用Coventorware对压阻式MEMS压力传感器进行有限元仿真的方法,用这种方法可以直接计算出传感器在额定压力下的信号输出。这种方法可以使MEMS压力传感器设计过程变得精确、直观和简单,改变了以往设计过程中通过经验来确定压力传感器膜厚度和电阻条位置的方式。
用有限元仿真计算压阻式MEMS压力传感器的输出
【摘 要】
：
讲述了一种用Coventorware对压阻式MEMS压力传感器进行有限元仿真的方法,用这种方法可以直接计算出传感器在额定压力下的信号输出。这种方法可以使MEMS压力传感器设计过程变
【机 构】
：
北京大学微电子研究所,青鸟元芯微系统科技有限责任公司
【出 处】
：
仪表技术与传感器
【发表日期】
：
2010年08期
其他文献
时隔36年以后,朝鲜劳动党即将召开党的全国代表大会。本次大会的召开除了将彰显朝鲜劳动党七十年所取得的成果以外,还将进一步确立以金正恩为首的朝鲜劳动党的领导地位,并在
本文把流传于民间的萨满巫祝传说分为巫祖传说、一般萨满传说、萨满神偶传说及其他传说等四类，并分析这四类传说的各自特征及东蒙古地区的萨满巫祖传说和朝鲜、韩国的巫祖传说
针对液化气测量灌装过程中产生质量的误差及液化气易燃、易爆的特点,文章论述了为保证其在测量灌装过程中的安全,在系统的输入输出接口设计了专用防爆隔离电路,在提高测量灌
唐宋词与当代流行歌词是不同时期的流行歌曲歌词。它们在主题内容、艺术风格乃至社会背景等诸方面都表现出惊人的相似之处。但由于年代相距久远,二者在爱情观念和表达方式等
地铁列车牵引系统主要由以下设备构成:受电弓、高速断路器HSCB、VVVF牵引逆变器、牵引控制单元DCU、牵引电机、制动电阻和司控器。其中最为关键的就是牵引电机,它采用电动驱
介绍了一种智能型蓄电池恒流放电装置。基于混合型模糊PID控制算法,利用单片机C8051F021I、PM智能功率模块和PTC放电负载,成功地实现了蓄电池的恒流放电。详细描述了该装置的
强度调制型荧光光纤温度传感器具有其它光纤温度传感器所不具有的优点。本文对原有的传感器的传感部分作了改进，使之能用于非接触性温度的测量。
针对目前汽车轮速传感器在线测试系统效率低等问题,设计一种基于LabVIEW的汽车轮速传感器的测试系统,利用LabVIEW进行自动控制采集点位置,在不同的采集点对传感器的各项性能
MEMS器件微流量流速检测中会受到寄生电容的严重干扰,针对两腔键合的压电驱动硅基微流量传感结构,通过对该结构中Si-Pt平行板电容分析及其对交变方波驱动的输出响应分析,确定