【摘 要】
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近几年,在我国政府及相关部门和产业界的共同推动下,我国半导体产业迎来了快速发展大趋势。2018年,集成电路产业再次被我国政府工作报告列为实体经济发展第一位。"一代先进设
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近几年,在我国政府及相关部门和产业界的共同推动下,我国半导体产业迎来了快速发展大趋势。2018年,集成电路产业再次被我国政府工作报告列为实体经济发展第一位。"一代先进设备支撑一代工艺技术,一代工艺技术造就一代集成电路产品",集成电路设备作为集成电路产业高速前进的动力源泉,在整个半导体工业中所占的技术和资金比重高达75%,设备已然成为衡量一个国家半导体工业水平的根本标准。
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