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概括阐述了薄膜太阳电池用绒面结构ZnO透明导电薄膜（ZnO-TCO）方面的最新研究进展。绒面结构ZnO-TCO薄膜可以提高薄膜太阳电池效率和稳定性并降低生产成本。磁控溅射技术和MOCVD（LP-MOCVD／LPCVD）技术是制备绒面结构ZnO-TCO薄膜（例如“弹坑”状和“类金字塔”状表面）的主流生长技术，而喷雾热分解技术则是正在开发的非真空法低成本工艺路线。论述了2种主流技术生长ZnO-TCO薄膜的发展历程，并重点讨论了近期关于绒面ZnO-TCO薄膜微观结构、电学以及光学等特性与工艺关系的研究结果。进一