论文部分内容阅读
采用快速刀具伺服技术（FTS）实现了非回转对称三维调制靶模板的精密车削加工．阐明了调制靶模板车削加工的基本原理，并提出一种基于坐标变换的金刚石刀具几何参数选择方法，推导了车削加工此类表面时金刚石刀具刀尖圆弧半径、前角和后角所需满足的条件．基于此提出了一种基于三次Hermite插值的刀尖圆弧半径补偿算法，并详细讨论了插值节点的计算方法．由刀尖圆弧半径补偿仿真结果可以看出，此补偿算法精度优于2nm．在自行研制的精密金刚石车床上实现了X、Y方向上波长均为100μm、幅值均为0．7μm的正弦网格调制结构的加工．采