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用磁控溅射技术获得了晶粒尺寸小于１００ｎｍ的Ｃｏ—３０Ｃｒ—５Ａｌ微晶涂层。对同成分ＣｏＣｒＡｌ合金及其微晶涂层进行１１００℃恒温和１０００℃循环氧化试验，并与ＣｏＣｒＡｌＹ合金进行比较。用声发射技术、划痕法及透射电镜对溅射ＣｏＣｒＡｌ微晶涂层的抗氧化机理进行了研究。结果表明微晶化提高了ＣｏＣｒＡｌ合金表面氧化膜的粘附性，从而大大改善了合金的抗恒温与循环氧化性能。而微晶化提高氧化膜粘附性的原因是：（１）微晶表面氧化膜比铸态合金表面氧化膜的晶粒细得多，细晶氧化膜可通过扩散蠕变释放生长应力和部分热应力；（２）