High Quality Zinc Sulfide Epitaxial Layers Grown by Metalorganic Chemical Vapour Deposition

来源 :稀有金属：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bodden

【摘要】

：

ZnS films were successfully grown by metalorganic chemical vapour deposition （MOCVD） at atmospheric pressure on （100）GaAs substrates.The deposition was carried out

【作者】

：

Fan Guanghan Liao Qiwei Fa

【机构】

：

ChangchunInstofPhysics

【出处】

：

稀有金属：英文版

【发表日期】

：

1989年2期

【关键词】

：

CRYSTALLINE MOCVD VAPOUR MIRROR EXCITATION Zinc restrained advantageous remarkab

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ZnS films were successfully grown by metalorganic chemical vapour deposition （MOCVD） at atmospheric pressure on （100）GaAs substrates.The deposition was carried out at substrate temperature between 280～550℃ with optimisation of reactor de-sign and growth c

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